型号:MN3Q每1连阀上配备2个3通阀，减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。【适用缸径：Φ4～Φ16】行业半导体制造工序（前工序）化学液体供给设备用元件化学气体供给设备用元件氮气清洗关联元件